Système de positionnement XYZ 782300:193.26

linéairepour l'inspection de Wafer et métrologiepour le contrôle qualité

Système XYZ pour l'inspection et le contrôle de la qualité Personnalisable : - Très grande précision de battement et répétabilité jusqu'à 0,3 µm - Positionnement de charges jusqu'à 150 N avec un entraînement rentable - Vitesses élevées jusqu'à 50 mm/s - Réduction au minimum des erreurs aléatoires - Intégration facile et combinaison flexible avec les systèmes de caméras et les capteurs existants Le système de positionnement permet de positionner des charges le long de trois axes linéaires. Dans cette unité, une platine linéaire PMT160 est montée sur une table transversale KT470 à l'aide d'un support d'adaptation. Elle permet d'obtenir de faibles erreurs de faux-rond, en termes de rectitude et de planéité, grâce à l'utilisation de rouleaux croisés. Caractéristiques techniques : - Course : 300 mm (XY) / 100 mm (Z) - Répétabilité : ± 0,3 - ± 1,7 µm (XYZ) - Vitesse de positionnement : 25 mm/s (XY) - Charge max : 45 N (X) / 150 N (YZ) - Moteur : Moteur à courant continu - Rétroaction : Échelle linéaire Options personnalisées : - Différentes courses dans l'axe Z de 50 à 300 mm - Différentes variantes de moteurs : Moteur à courant continu ou moteur pas à pas - Utilisation immédiate avec un contrôleur préconfiguré comprenant un logiciel exemplaire - Versions pour salle blanche ISO 14644-1