Système de positionnement 1 axe 782300:212.26

rotatifpour l'inspection de Wafer et métrologiepour l'industrie des semi-conducteurs

X Système Phi pour le positionnement de lentilles optiques, de cylindres Personnalisable : - Idéal pour la mesure optique de pièces rondes, par exemple les plaquettes, les optiques - Permet d'éviter l'achat supplémentaire d'un axe de chargement grâce à des mouvements rotatifs de haute précision avec course - Haute répétabilité jusqu'à 0,0017 - Déplacement précis de 1,9 µm avec X dans la position de mesure Ce système de positionnement X-Phi se compose d'axes standard de haute précision et durables de la platine linéaire PMT160 et, pour la rotation, du DTS130-HM. Il est idéal pour les applications de mesure dans lesquelles l'échantillon est déplacé avec précision dans la position de mesure, sans qu'aucun axe d'avance supplémentaire ne soit nécessaire. Caractéristiques techniques : - Système standard : PMT160-DC (X) / DTS130 (Phi (Rz)) - Course : 135 mm (X) / n x 360 mm (Phi (Rz)) - Répétabilité : ± 1,9 - ± 2,4 µm (X) / ± 0,0017 - ± 0,005 µm (Phi (Rz)) - Vitesse de positionnement : 10 mm/s (X) / 50 mm/s (Phi (Rz)) - Charge max : 150 N (X) / 74 N (Phi (Rz)) - Moteur : Moteur CC, vis à billes (XZ) / servo CA (Phi (Rz)) - Rétroaction : Échelle linéaire (XZ) / Échelle angulaire (Phi (Rz)) Personnalisable : - Courses jusqu'à 300 mm - Plaque de base en granit ou en aluminium - Disponible avec une échelle interne (270 mm) - Peut être combiné avec d'autres platines rotatives, par exemple DT200 - Versions pour salle blanche ISO 14644-1 possibles - Utilisation immédiate avec un contrôleur préconfiguré comprenant un logiciel exemplaire