Système de positionnement XYZ 782300:179.26

à portiquepour l'industrie des semi-conducteurspour salle blanche

Portail XXL XYZ avec mandrin à vide Personnalisable : - Idéal pour l'inspection automatisée de surfaces avec variation de focalisation - Conçu pour des échantillons d'un poids allant jusqu'à 50 kg (à l'exclusion de la chambre à vide) - Amortissement passif des vibrations et découplage des vibrations du bâtiment (chambre de mesure standard de classe de qualité 3 selon VDI 2627) - Durée de vie extrêmement longue avec 1 000 000 de cycles complets et un intervalle de maintenance de 500 000 cycles complets ou tous les 2 ans Ce système de positionnement déplace un mandrin à vide sur une surface de 1000 x 1000 mm. Le système standard PMT160-SM est fixé à l'axe de déplacement du capteur spécifique au client, qui est utilisé pour la variation de la focalisation. Les axes sont entièrement fermés, ce qui évite la contamination et les interférences. Caractéristiques techniques : - Système standard : PLT320-SM (XY) / PMT160-SM (Z) - Course : 1000 mm (XY) / 100 mm (Z) - Répétabilité : ± 3,9 - ± 4,4 µm (XY) / ± 1,9 - ± 2,4 µm (Z) - Vitesse de positionnement : 30 mm/s (XY) / 10 mm/s (Z) - Charge max : 490 N (XY) / 40 N (F) / ± 45 N (Z) - Moteur : Moteur pas à pas (XYZ) - Guide : Vis à billes (XYZ) - Führung : Rail profilé (XY) / Roulements à rouleaux croisés (Z) - Rétroaction : Boucle ouverte (XYZ) - Länge x Breite x Höhe : 2250 x 1500 x 1500 mm Options personnalisées : - Avec échelle linéaire pour des précisions jusqu'à 0,3 µm - Configuration du système modulaire - Armoire de sécurité - Configuration spéciale pour les semi-conducteurs, la biotechnologie, les produits pharmaceutiques - Versions pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - Contrôle de mouvement prêt à l'emploi avec contrôleur préconfiguré et logiciel d'exemple inclus - Développement de solutions individuelles avec conception 3D pour la tâche de positionnement