Personnalisable :
- Idéal pour le balayage tangentiel avec des options de réglage polyvalentes
- Correction de l'inclinaison et du décalage latéral jusqu'à 0,5 µm
- Ouverture de 45 mm pour la ligne de faisceau
- Platine rotative sur coussin d'air pour des précisions allant jusqu'à 0,0005°
Ce système de positionnement permet un balayage tangentiel dans 6 degrés de liberté avec une très grande répétabilité. Le porte-échantillon, dont la mise au point, l'angle et la distance sont réglables, est placé sur un aligneur XYZ phi delta avec ouverture, qui corrige l'inclinaison et le décalage latéral sur 4 axes.
Caractéristiques techniques :
- Système standard : DT250 (Rz) / MP200-5 (X, Y, Rx, Ry) / PMT160-DC-L (F) / PLT165-SM (Z)
- Course : n x 360 mm (Rz) / ±1,5 - ±2 mm (X, Y, Rx, Ry) / 90 mm (R) / 50 mm (F) / 100 mm (Z)
- Répétabilité : 0,0005 - 0,001 µm (Rz) / ±0,5 - ±5,2 µm (X, Y, Rx, Ry) / 1 µm (R) / ±0,3 - ±0,4 µm (F) / ±3,9 - ±4,4 µm (Z)
- Vitesse de positionnement : 700-1400 mm/s (Rz) / 0,4 - 0,8 (XYZ) / 30-80 mm/s (FZ)
- Charge max : 20 N (Ry) / 40 N (F) / 150 N (Z)
- Moteur : Moteur linéaire dynamique à noyau de fer (Rz) / moteur pas à pas (X, Y, Rx, Ry, Z) / manuel (R)
- Guide : Palier à air (Rz) / Solid State, boîte d'engrenage, vis-mère (X, Y, Rx, Ry) / Guide coulissant (R) / Roulements à rouleaux croisés, vis à billes (F) / Rail profilé, vis à billes (Z)
- Rétroaction : Echelle angulaire (Rz) / Boucle ouverte (XY, Rx, Ry, Z) / Skale (R) / Echelle linéaire (F)
- Ouverture : Ø 45 mm
Options personnalisées :
- Platines standard combinables pour les mouvements XYZ-Rx-Ry-Rz
- Configuration individuelle avec cadre, isolation contre les vibrations, boîtier
- Adaptation du processus pour le capteur/la tête de mesure, le porte-échantillon
- Version pour salle blanche, laboratoire et production
- Transmission sans fil de l'énergie et des signaux
- Intégration dans les flux de travail via un contrôleur PLC ou PC
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