Système de positionnement XYZ 782300:222.26

à portiquepour l'inspection de Wafer et métrologieavec moteur pas à pas

Personnalisable : - Idéal pour l'inspection de la surface et la mesure de l'épaisseur du revêtement de grands échantillons jusqu'à 650 x 650 mm - Mesure précise avec une répétabilité jusqu'à 2 µm - Bon rapport qualité-prix grâce à l'entraînement par moteur pas à pas - Axe Z solide et robuste pour des capteurs jusqu'à 20 kg - Adapté aux environnements industriels (poussière, fumée, etc.) Ce système d'inspection est spécialement conçu pour le contrôle automatisé de la qualité des échantillons plats et de grande taille pesant jusqu'à 50 kg. Le système de positionnement permet de positionner simultanément le capteur en Z et l'échantillon en XY sur une surface très compacte. Spécifications : - Composant standard : PLT240-SM (X) / PLT165-SM (Y) / PLT165-Manuell (Z) - Course : 650 mm (XY) / 100 mm (Z) - Répétabilité : ± 3,9 - ± 4,4 µm (XYZ) - Vitesse : 5 mm/s (XYZ) - Charge max : 300 N (X), 1000 N (Y) / 160 N (Z) - Entraînement : Moteur pas à pas (XY) | manuel (Z) - Rétroaction : - boucle ouverte (XY) Options personnalisées : - Différentes courses jusqu'à 1000 mm - Avec/sans cadre et plaque de base en granit ou en aluminium - Versions ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande), par exemple avec boîtier et avec système d'échappement - Solutions individuelles pour l'acheminement des câbles - Découplage adapté des vibrations au moyen d'une couche de caoutchouc amortissante ou d'amortisseurs pneumatiques - Utilisation immédiate avec un contrôleur préconfiguré comprenant un logiciel exemplaire