Équipement de surveillance des gaz PPM100

Le PPM100 est un contrôleur/surveillant autonome pour les analyseurs de gaz résiduels SRS. Il mesure les pressions partielles des RGA SRS et la pression totale d'un maximum de quatre manomètres à capacité. La sortie graphique est disponible sur un écran tactile LCD. Le PPM100 comprend une capacité de contrôle de processus à 8 canaux, quatre ports d'E/S analogiques, des interfaces informatiques RS-232, USB et GPIB, ainsi qu'une interface Web. Analyse des gaz résiduels Le PPM100 est conçu pour surveiller et contrôler un seul RGA SRS. Une interface utilisateur pilotée par menu permet à l'opérateur de programmer facilement les paramètres RGA à partir du panneau avant (c'est-à-dire qu'aucun PC hôte n'est nécessaire). Les données du RGA peuvent être visualisées sous forme de balayage analogique, de pression partielle en fonction du temps, de tendance de fuite (avec signal audio) ou de lectures de masses individuelles. Ces données peuvent également être reliées à des alarmes, à des relais de contrôle de processus et à des ports analogiques pour le contrôle en boucle fermée de composants gazeux spécifiques. Capture d'écran 1 E/S analogiques Le PPM100 possède quatre ports d'E/S analogiques configurables. Ceux-ci peuvent être utilisés comme sorties pour contrôler des équipements auxiliaires de vide tels que des chauffages, des actionneurs, des sources d'ions, des contrôleurs logiques programmables et des contrôleurs d'étranglement. En tant qu'entrées, il est possible de contrôler simultanément jusqu'à quatre manomètres à capacité. Enregistrement des données Les données de toutes les jauges (et de toutes les entrées analogiques) sont stockées à un taux défini par l'utilisateur. Les applications typiques comprennent la capture des courbes de descente de pompe ou d'aération, la surveillance des signaux des contrôleurs de débit massique pendant les processus de dépôt, et la surveillance des températures et d'autres variables dépendant du temps pendant les cuissons ou les traitements thermiques. Contrôle des processus Le PPM100 fournit huit relais avec les sorties TTL correspondantes. Chaque canal peut être relié à une pression partielle spécifique