Manifold multivoie BGMA

pour gaz

Le collecteur binaire de gaz (BGMA) a une conductance égale à chaque sortie pour un débit de gaz le plus régulier possible et le temps de réponse le plus rapide de la pulvérisation réactive, quelle que soit la longueur du collecteur. L'uniformité de l'écoulement est vérifiée par l'analyse par éléments finis. Il est robuste, simple et facile à nettoyer. Caractéristiques Conductibilité égale à chaque sortie, quelle que soit sa longueur Segmentés pour le gaz principal et les gaz additionnels Complet avec matériel de montage et protection contre les déchets Conception robuste et simple Avantages La plus grande uniformité Temps de réponse rapide à la pulvérisation cathodique réactive Durable et facile à nettoyer