Magnétron rotatif TC-Series

de pulvérisation par bombardement ionique

Les blocs d'extrémité internes de la série TC sont dotés d'une technologie unique d'alimentation électrique dans le design le plus compact qui soit. Le TC peut traiter des cibles jusqu'à 1500 mm et a une puissance de 40 kW DC ou 80 kHz MFAC. Les blocs d'extrémité à montage interne SCI ont une grande fiabilité et une conception simple et facile à entretenir. La configuration à extrémité unique réduit le nombre de joints rotatifs et statiques, l'un des modes de défaillance les plus courants dans les cathodes rotatives. Notre fonction unique de remplissage et de vidange de l'eau permet un meilleur refroidissement de la cible et une vidange complète de l'eau de la cible lors de la purge. La conception élimine la possibilité de corrosion galvanique à l'intérieur du bloc d'extrémité, qui pourrait entraîner des fuites d'eau et des courts-circuits. Les blocs d'extrémité à montage interne TC de Sputtering Components peuvent être installés sur toute nouvelle coucheuse ou peuvent facilement remplacer les systèmes planaires. Caractéristiques Technologie brevetée de distribution de l'énergie Méthode de fixation d'une cible unique Joints rotatifs durables et de longue durée Conception la plus compacte disponible pour les cibles industrielles standard Conception de cible non propriétaire Convient aux tailles cibles standard Dispositif breveté de remplissage/vidange de l'eau cible Avantages Excellente fiabilité Facile à installer Changement de cible rapide 2 heures d'entretien annuel ; 3 heures de reconstruction totale du bloc d'extrémité Très faible coût d'entretien Utiliser des cibles de n'importe quel fournisseur Excellente capacité de puissance sans impact de chauffage inductif - pas de poussière de brosse Pas de corrosion galvanique