Magnétron rotatif SC-Series

de pulvérisation par bombardement ionique

Notre plus grand bloc d'extrémité à montage interne, le SC peut traiter des cibles jusqu'à 4000 mm et a une puissance allant jusqu'à 200 kW DC ou 80 kHz MFAC Les blocs d'extrémité à montage interne SCI ont une grande fiabilité et une conception simple et facile à entretenir. La configuration à extrémité unique réduit le nombre de joints rotatifs et statiques, l'un des modes de défaillance les plus courants dans les cathodes rotatives. Notre fonction unique de remplissage et de vidange de l'eau permet un meilleur refroidissement de la cible et une vidange complète de l'eau de la cible lors de la purge. Cette conception élimine la possibilité de corrosion galvanique à l'intérieur du bloc d'extrémité, qui pourrait entraîner des fuites d'eau et des courts-circuits. Les blocs d'extrémité SC de Sputtering Components peuvent être installés sur toute nouvelle coucheuse ou peuvent facilement remplacer d'autres blocs d'extrémité rotatifs ou systèmes planaires. Caractéristiques Technologie brevetée de distribution de l'énergie Méthode de fixation d'une cible unique Joints rotatifs durables et de longue durée Montage standard industriel sur le couvercle Conception de cible non propriétaire Remplissage d'eau cible breveté pour le drainage de l'abdomen La barre magnétique peut être réglée à n'importe quel angle Avantages La plus haute fiabilité du marché Facile à installer ou à modifier à partir de blocs d'extrémité concurrents Changement de cible le plus rapide possible 1 heure d'entretien annuel ; 3 heures de reconstruction totale du bloc d'extrémité Coût d'entretien le plus bas Utiliser des cibles de n'importe quel fournisseur Puissance élevée sans impact de chauffage inductif - pas de poussière de brosse Pas de corrosion galvanique