Le 20B-5P-4D est les dernières spécifications pour le double polissage latéral des gaufrettes de 300mm ou de 200mm. Avec la stabilité inégalée ce système produit 15 gaufrettes de 200mm par groupe, et 5 gaufrettes de 300mm par groupe. C'est le système idéal pour la planéité élevée, la basse automation de Nanotopography, l'entretien et le coût de la propriété. Le 20B05P-4D satisfait les demandes les plus graves de la précision et roule-au loin.
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