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Machine de polissage pour céramique FAM5 seriesde plaquesautomatiquesimple-face
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Caractéristiques
- Matière usinée
- pour céramique
- Application
- de plaques
- Autres caractéristiques
- automatique, simple-face, de précision, mécano-chimique
Description
- Les machines 50-SPAW et 59-SPAW de SpeedFam sont des systèmes automatisés de polissage mécano-chimique simple face pour le traitement des plaquettes de silicium nues. Nous transportons automatiquement les plaques de montage en céramique (chargées et déchargées avec les wafers). Ces systèmes sont équipés de diverses technologies avancées telles que des plaques de polissage à faible dilatation thermique et des chemises de refroidissement, un entraînement forcé indépendant et un contrôle précis de la pression pour chaque support de processus.
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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.