Machine de polissage de bords EPD-X series

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L'EPD est un système qui améliore le Wafer Edge en polissant des plaquettes à motifs. L'EPD élimine les substances étrangères et indésirables du biseau du bord au niveau des nœuds critiques du processus. SpeedFam est le pionnier des polisseurs de bord pour la production de plaquettes de premier choix. Nous utilisons ce système avec des résultats étonnants sur des plaquettes de 300 mm, 200 mm et 150 mm. SpeedFam a expédié environ 550 Edge Polishers pour des plaquettes de premier choix depuis 1988. La SpeedFam Edge Polisher est la norme mondiale en matière de préparation des bords, utilisée dans les usines de plaquettes de premier choix du monde entier. SpeedFam prend en charge la production de plaquettes de 300 mm, 200 mm et 150 mm. La SpeedFam EPD est une polisseuse de bords pour améliorer les bords des plaquettes à motifs de 300 mm, 200 mm et 150 mm. Par rapport à la gravure ou à d'autres traitements des bords tels que le simple nettoyage, l'EPD utilise une action de polissage par boue pour améliorer considérablement les bords des plaquettes. Il est équipé d'une unité de nettoyage après polissage pour obtenir un traitement à sec dans un environnement sec.