Les panneaux de commande de pression pour des gaz de semi-conducteur du clapet anti-retour de processus (pneumatique) manuel de rebut de clapet à gaz de purge de valve du gaz de clapet à gaz de la qualité 6.0 (EMO-) pour empêcher le gaz de processus de couler de nouveau dans la ligne de gaz de puge indicateur de pression de contact de disque d'éclat de régulateur de pression de Pré-filtre pour le disque d'éclat surveillant le filtre de soupape de sécurité pour la ligne de gaz de processus particule-libre de processus d'offre de gaz robinet d'isolement de clapet de mise à l'air libre de système de robinet d'isolement (basse pression) pour le connecteur tout de vide d'essai d'étanchéité ou d'essai de vide gaz-ont mouillé des pièces faites à partir de l'acier inoxydable 1.4404 UDE aussi bien que Hastelloy C et PCTFE 100 % hélium-fuite-a examiné l'Assemblée dans la classe 100/10 de cleanroom
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