Tableaux de contrôle de pression pour gaz semi-conducteurs à partir de la qualité 6.0
Soupape de gaz d'échappement
Vanne manuelle (pneumatique) pour gaz de process (EMO-)
Pré-filtre
Régulateur de pression
Disque d'éclatement
Filtre pour l'alimentation en gaz de process sans particules
Toutes les pièces en contact avec le gaz sont en acier inoxydable 1.4404 ESU ainsi qu'en Hastelloy C et PCTFE
100 % d'hélium testé à l'épreuve d'étanchéité
Montage en salle blanche classe 100/10
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