REFROIDISSEURS DE SEMI-CONDUCTEURS
ThermoRack 1801
Refroidisseur à montage en rack de plus grande capacité pour la gravure au plasma et d'autres applications semi
1 800 watts de capacité de refroidissement - soit 50 % de plus que le ThermoRack 1201 dans le même boîtier 5U monté en rack
±0,05°C Stabilité/répétabilité de la température
Plage de fonctionnement de -20°C à 70°C
Conçu pour une réponse très rapide
Disponible dans les configurations standard à haut débit, à débit moyen et à faible débit
Réduit les variations entre les plaquettes et élimine le premier effet de plaquette
Jusqu'à 80 % plus efficace que les refroidisseurs à compresseur
Utilise la technologie thermoélectrique pour une grande fiabilité et un coût de maintenance réduit
Conception simple - seulement 2 pièces mobiles
Élimine le fréon et d'autres réfrigérants nocifs pour se conformer aux nouvelles réglementations environnementales
Utilise moins d'eau et des liquides de refroidissement coûteux, tels que Fluorinert ou Galden
Taille compacte : Jusqu'à 6 systèmes TR1801 tiennent dans l'espace d'un refroidisseur à compresseur
Interfaces de communication disponibles pour les systèmes AMAT, LAM, TEL et Hitachi
Le pouvoir universel - se brancher et aller partout dans le monde
Une excellente solution pour la gravure au plasma, les cendres de plasma, le CMP et d'autres procédés
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