Refroidisseur à circulation pour l'industrie des semi-conducteurs Nikola series

à condensation par eauthermoélectrique

REFROIDISSEURS DE SEMI-CONDUCTEURS Nikola 3K/5K Refroidisseurs thermoélectriques à haute capacité pour la gravure au plasma et d'autres applications semi Nos refroidisseurs de plus grande capacité conçus spécifiquement pour le traitement des semi-conducteurs 3 000 ou 5 000 watts de capacité de refroidissement ±0,05°C Stabilité/répétabilité de la température Deux options de pompe pour des débits jusqu'à 10 gpm et des pressions jusqu'à 100+ psig Réduit les variations entre les plaquettes et élimine le premier effet de plaquette Jusqu'à 80 % plus efficace que les refroidisseurs à compresseur Utilise la technologie thermoélectrique pour une grande fiabilité et un coût de maintenance réduit Conception modulaire pour une maintenance facile Élimine le fréon et d'autres réfrigérants nocifs pour se conformer aux nouvelles réglementations environnementales Utilise moins d'eau et des liquides de refroidissement coûteux, tels que Fluorinert ou Galden Interfaces de communication disponibles pour les systèmes AMAT, LAM, TEL et Hitachi Le pouvoir universel - se brancher et aller partout dans le monde Une excellente solution pour la gravure au plasma, les cendres de plasma, la métrologie, le CMP et d'autres procédés