Réacteur de process ESY–10/S

tubulairecombiné

Réacteur LPE, développé pour les exigences particulières de la croissance des semi-conducteurs composés II-VI. MCT HgCdTe-Epitaxie pour les applications d'imagerie thermique. Équipement LPE pour les technologies II-VI Le concept du réacteur LPE ESY-10/S a été développé par SOF Optoelectronics pour répondre aux exigences particulières de la croissance LPE des semi-conducteurs composés II-VI tels que le HgCdTe. Sa capacité élevée de 200 cm² par processus épitaxial, combinée à son matériau de creuset unique et à sa conception pour l'homogénéisation de la masse fondue, sont les principales caractéristiques de cet équipement, qui fonctionne avec succès dans le monde entier dans diverses applications En plus du four ESY-10/S standard pour l'utilisation industrielle et la R&D, des solutions conçues par le client avec de nombreuses options peuvent être réalisées. L'ESY-10/S peut être parfaitement complété par un système de four de recuit indépendant intégré. Une boîte à gants de chargement étanche à l'azote permet à l'opérateur de charger et de décharger les tubes du four sous atmosphère protectrice Four LPE - Caractéristiques techniques Four combiné à un ou deux tubes avec tube vertical LPE et tube de recuit en quartz 3 zones de chauffage pour l'épitaxie et 1 zone de chauffage indépendante pour la source de Hg Source de vapeur d'Hg à l'intérieur du tube du four Températures jusqu'à 750°C Précision de la régulation de la température : ± 0,5 °C Convient pour des wafers jusqu'à 49 cm² Jusqu'à 6 wafers par processus épitaxial Croissance parfaite des couches Retrait facile du Solid Melt après le processus Protection de la surface du wafer avant et après la croissance épitaxiale Traitement entièrement automatique contrôlé par ordinateur Enregistrement des données de tous les paramètres du processus Boîte à gants de chargement fermée avec atmosphère N2 Le principe de fonctionnement de l'unité d'équipement LPE est la technologie de l'épitaxie en phase liquide (LPE) utilisant une technique de bateau à rotation et immersion