La source lumineuse intégrée éclaire une échelle comprenant un réseau incrémental d'un pas de 20 µm et une piste avec des marques de référence pour un positionnement absolu. La lumière réfléchie génère un motif d'interférence qui est détecté par le réseau de diodes à l'intérieur de la tête de lecture. Un mouvement relatif entre l'échelle et la tête de lecture génère des signaux analogiques sinus et cosinus ainsi qu'une marque de référence de forme TTL.
> Taille compacte : 6,6 x 5,1 x 1,7 mm
> Haute résolution : 0.4 nm à 1 m/s
> Vitesse de positionnement : jusqu'à 10 m/s
> Compatibilité UHV jusqu'à 10-11 mbar
> Gamme de températures de fonctionnement : 0 °C - 80 °C
> Environnements difficiles avec vibrations mécaniques
> Compatibilité avec une grande variété d'échelles réfléchissantes au pas de 20 µm
> Systèmes de mouvement en boucle fermée
> Robotique
> Industrie des semi-conducteurs
> Jauge pour systèmes de mesure de déplacement
> Numérisation d'échantillons de haute précision dans les sciences de la vie et la microscopie
> Impression 3D à haute résolution
> Recherche et développement
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