Des performances exceptionnelles
Entièrement codé avec une résolution de 1 nm
Maintien actif de la position
Large plage de balayage et faible dérive thermique
Palpage de grandes surfaces sur 30 x 30 mm complets
Imagerie EBAC/EBIC à grande vitesse
Efficace et facile
Interface utilisateur tout-en-un
Atterrissage et alignement automatiques de toutes les sondes
navigation "Point & Click" dans l'image SEM
Mouvements de groupe et "Step & Repeat"
Navigation CAO pour l'échantillon et les sondes
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