Sonde optique SP series

de laboratoirede caractérisation électrique

Notre système standard de nanoprober avec 4 ou 8 manipulateurs en boucle fermée. Le SMARPROBE SP4 est un système de palpage comportant jusqu'à 4 manipulateurs, tandis que le SMARPROBE SP8 en comporte jusqu'à 8. Chacun des manipulateurs possède 3 degrés de liberté et est équipé de codeurs optiques de résolution nanométrique pour un palpage électrique de haute précision. Les routines de positionnement intelligentes implémentées dans le logiciel de contrôle dédié et la possibilité de charger jusqu'à quatre échantillons SEM augmentent la facilité d'utilisation et le rendement global de toute tâche de nanopalpage. La conception mécanique robuste assure une stabilité maximale et une facilité d'utilisation. Les systèmes de palpage sont compatibles avec une grande variété de FIB, de MEB et de microscopes optiques et sont donc parfaitement adaptés à la modernisation des installations de palpage existantes et à l'intégration dans de nouveaux instruments. Les systèmes de palpage SMARPROBE permettent de réaliser des techniques de caractérisation électrique allant des EBIC/EBAC à 2 contacts aux mesures de palpage à 4 et 6 points, ce qui fait du SMARPROBE un outil indispensable pour votre laboratoire d'analyse des défaillances. Manipulateur avec support de sonde - Boucle fermée XYZ Nombre de manipulateurs - ≤ 4 / ≤ 8 Platine d'échantillonnage - XYZ à boucle fermée Contrôle - Point & Click, Joystick Zone de palpage [mm] - 25 x 25 Plage de balayage en XYZ1 [µm] - 3 Dérive thermique2 [nm/min] - 1 - 10