Système de positionnement XYZ

lasercompact

Le système de positionnement XYZ tient la tête du capteur et balaye le faisceau laser sur l'échantillon. Le système de positionnement XYZ est utilisé pour positionner le faisceau de l'interféromètre et le balayer sur la région d'intérêt. Le système de positionnement est construit autour de trois positionneurs à boucle fermée SmarAct enfermés dans un boîtier de protection compact. Chaque positionneur a une portée de balayage maximale de 20 mm et une répétabilité de 50 nm. La tête du capteur est montée sur le positionneur le plus bas. Le système de positionnement XYZ est monté sur un poteau de 25 mm de diamètre, de sorte que sa hauteur est facilement ajustable pour s'adapter à des échantillons de différentes dimensions. Il est même possible de retirer le système de positionnement de son support de montage afin de l'installer dans une configuration personnalisée ou de le combiner avec un autre instrument.