Système de positionnement tripode TRIPOD 92-6DoF
6 axesXYZlinéaire

Système de positionnement tripode - TRIPOD 92-6DoF - SmarAct GmbH - 6 axes / XYZ / linéaire
Système de positionnement tripode - TRIPOD 92-6DoF - SmarAct GmbH - 6 axes / XYZ / linéaire
Système de positionnement tripode - TRIPOD 92-6DoF - SmarAct GmbH - 6 axes / XYZ / linéaire - image - 2
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Caractéristiques

Nombre d'axes
XYZ, 6 axes
Type
linéaire, rotatif, tripode
Applications
sous vide
Répétabilité

50 nm

Course

6 mm, 31 mm
(0,24 in, 1,22 in)

Description

Le plus grand des deux systèmes de mouvement TRIPOD 92-6DoF possède six degrés de liberté et utilise les platines piézoélectriques de haute précision SMARSLIDE. Il est également entièrement compatible avec le système modulaire CLS-92. Le composant central du TRIPOD 92-6DoF est la platine de basculement à cinématique parallèle TRIPOD 92-Core. Sa conception avec trois tours disposées radialement permet un mouvement de roulis et de tangage de la plaque supérieure avec une course totale de 31° pour Rx, 27° pour Ry et une translation linéaire dans la direction Z de 11 mm. Au-dessus du TRIPOD 92-Core, une platine de rotation SR-5714C permet une rotation illimitée autour de l'axe Z. Le TRIPOD 92-Core est entièrement compatible avec le système modulaire CLS-92 et est placé sur une plate-forme XY composée de deux platines de translation linéaire CLS-92. La plaque inférieure permet un montage direct sur une planche à pain optique standard avec une grille de 25 mm. Les valeurs de déplacement en rotation sont données pour un point de pivot à la surface de la plaque supérieure. Les dimensions globales du système complet peuvent être plus importantes pour différentes poses. Pour plus d'informations, voir le modèle CAO dans la zone de téléchargement. La répétabilité est mesurée à environ 20 mm au-dessus de la plaque supérieure de chaque système, sur toute la plage de déplacement et pour un seul degré de liberté à la fois. Les valeurs peuvent être meilleures pour des courses plus courtes.

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Catalogues

Catalog 22
Catalog 22
182 Pages
CATALOG 2024
CATALOG 2024
188 Pages

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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.