Système de nano-positionnement 3 axes NMM-1

laseroptiquepour l'industrie

Positionnement, manipulation, traitement et mesure d'objets et de structures avec une précision de l'ordre du nanomètre - machine de nanopositionnement et de nanométrologie la plus précise au monde - plage de mesure et de positionnement 25 x 25 x 5 mm - résolution de 0,1 nm - système de positionnement et de mesure 3D de la plus haute précision - systèmes de sondage, par exemple capteurs de focalisation laser, microscopes à force atomique, capteurs de lumière blanche, micro-scanners 3D - l'architecture ouverte de l'appareil permet l'application de capteurs personnalisés - le NMM-1 est contrôlé par un logiciel PC. L'API utilisateur est disponible. La machine de nanopositionnement et de nanomesure pour la mesure de coordonnées tridimensionnelles fonctionne dans une plage de mesure de 25 mm x 25 mm x 5 mm avec une résolution de 0,1 nm. Une disposition spéciale des capteurs garantit une mesure exempte d'aberrations dans les trois axes de coordonnées. Les axes de mesure de trois interféromètres miniatures se croisent pratiquement au point de contact entre le capteur de palpage et l'objet mesuré. L'objet mesuré repose directement sur un coin de miroir mobile. La position du coin du miroir est détectée par les trois interféromètres miniatures fixes. Le coin du miroir est positionné à l'aide d'un système d'entraînement à trois axes. Deux capteurs d'angle sont utilisés pour mesurer et compenser les écarts angulaires pendant le positionnement. La lumière d'un laser stabilisé est transmise de l'unité électronique aux têtes d'interféromètre par des fibres optiques. Il en résulte une conception compacte et stable en température de la machine de nanopositionnement et de nanomesure.