Analyseur de vibrations laser NA

haute précisionFFTsans contact

Système de vibrométrie pour microstructures et MEMS - mesure de haute précision et sans contact des vibrations sur des micro-objets - réglage et manipulation aisés - nombreuses options de déclenchement - Table X-Y 50 mm x 50 mm, autres options sur demande - Objectif de microscope 10x, 20x, 50x - Diamètre du spot 2 µm - 10 µm, (en fonction de l'objectif) - Possibilité d'utilisation OEM de l'unité de vibrométrie - interfaces ouvertes pour les logiciels OEM sous Windows et Linux - Logiciel FFT pour l'analyse spectrale Le Nano Vibration Analyzer NA est une combinaison d'un vibromètre à fibre optique de la série LSV 120 NG et d'un microscope technique. Le système est parfaitement adapté à la mesure du comportement dynamique et de la déflexion statique des microstructures, des MEMS et des cantilevers. En fonction de l'objectif utilisé, il est possible d'obtenir une taille de spot de mesure inférieure à 2 µm. L'objet mesuré peut être positionné et balayé sur une large plage à l'aide d'une platine X-Y et peut être observé à l'aide d'une caméra. L'objectif du microscope est interchangeable et définit à la fois la plage visible et le diamètre du spot laser. La résolution de déplacement du vibromètre interférométrique laser est de l'ordre du picomètre, et des fréquences de vibration allant jusqu'à 5 MHz peuvent être analysées. Un logiciel spécialement développé est proposé pour l'acquisition et l'affichage des données de mesure. Outre l'analyse de la fréquence des vibrations et l'enregistrement des mesures déclenchées, ce logiciel permet de contrôler la table X-Y et un générateur de fréquence externe. Des séquences de mesure plus étendues peuvent être automatisées au moyen de scripts.