Machine de dépôt par pulvérisation cathodique verticale en ligne 2SV2215MR

pour miroir

Le système de pulvérisation en ligne verticale 2SV2215MR est un système modulaire flexible destiné à la déposition d'empilements multicouches à une ou deux faces sur du verre plat. Le système en ligne est utilisé pour la production de verre architectural, photovoltaïque, d'encadrement artistique et horticole. Ingénierie et technologie Le système est conçu comme une structure unique avec des chambres de verrouillage, de transfert et de dépôt. Des stations robotisées de chargement et de déchargement du verre, ainsi qu'un magasin d'échange de supports sont disposés du côté entrée/sortie du système. La chambre pour le mouvement transversal des cassettes sert au transfert du verre de la voie d'écoulement directe à la voie d'écoulement arrière pour le revêtement de la deuxième face du verre. Des supports personnalisés sont utilisés pour le maintien et le transfert du verre, le verre étant positionné verticalement sans inclinaison. Le positionnement vertical du verre et des magnétrons permet un dépôt sans particules. Des sources de faisceaux d'ions linéaires (4 pièces par côté du verre) sont utilisées pour le prétraitement des deux côtés du verre. Chaque chambre de dépôt est divisée en deux compartiments isolés similaires pour le déplacement direct et arrière des cassettes pour le revêtement successif des deux faces du verre. Les compartiments de pulvérisation sont équipés de magnétrons doubles rotatifs à haut débit alimentés par des blocs d'alimentation MF (13 magnétrons doubles pour chaque face du verre). Chaque compartiment de dépôt est isolé par des zones de séparation des gaz pompés. Des canaux PEM séparés et des collecteurs d'alimentation en gaz multisectoriels pour chaque magnétron double, ainsi que la mesure in situ des paramètres optiques de chaque couche déposée, permettent un contrôle optimal du processus et l'uniformité requise du revêtement.