Machine de dépôt par pulvérisation cathodique à magnétron SAF25/50

Outils multifonctionnels des pôles de R&D SAF Application L'outil multifonctionnel SAF25/50 est destiné aux travaux de recherche et de développement ainsi qu'aux études de faisabilité et aux travaux universitaires plus généraux dans le domaine des technologies des couches minces. Ingénierie et technologie L'outil est un système multifonctionnel, extensible, modulaire et flexible. Il comprend une chambre d'entrée/sortie avec canon à ions, une chambre centrale de transfert du substrat avec un bras de transport télescopique radial et jusqu'à 7 chambres de dépôt. Le substrat est positionné horizontalement sur un support. Les zones de dépôt sont configurées pour la rotation ou le déplacement du substrat pendant le dépôt vers le haut. La multifonctionnalité et la flexibilité de l'outil reposent sur les caractéristiques clés suivantes : - Chaque chambre peut fonctionner indépendamment grâce à des moyens de pompage, des commandes et des connexions d'utilité individuels. - Les chambres et les sources de dépôt sont interchangeables. - La chambre de transfert centrale empêche la contamination croisée du processus et assure le transfert des substrats sans ventilation des chambres. - Différents types de sources de dépôt, y compris des cellules thermiques de sublimation, des bateaux résistifs, des creusets et des magnétrons de pulvérisation, peuvent être intégrés. - Les magnétrons de pulvérisation double, simple et double peuvent être alimentés par des alimentations DC, DC pulsé, MF et RF. - Le refroidissement et le chauffage du substrat par contact ou sans contact sont proposés. - Une boîte à gants pour le chargement du substrat dans une atmosphère de gaz inerte et un magasin de substrats peuvent être ajoutés. - Le nombre préliminaire convenu de brides découpées installées sur les chambres permet de fixer des instruments personnalisés et des accessoires technologiques.