Etanchéité ferro-fluidique, personnalisable de 1 à 3 produits différents
Le client peut adapter la longueur du bras et le design du doigt en fonction de la cavité
Conforme aux exigences de vide de 10-6Pa, résistant à la chaleur
Avec protection contre les collisions et fonction AWC
Les produits d'automatisation des salles blanches de SIASUN sont maintenant devenus des articles uniques sérialisés grâce à plusieurs années de dépôt de technologie, l'accent étant mis sur la construction d'une unité modulaire et d'une plate-forme d'équipement, les ensembles et l'échelle étant les objectifs de développement. Les applications robotiques couvrent principalement les domaines de l'équipement IC, FPD, PV, électronique, etc. SIASUN peut fournir une solution technologique complète et un projet clé en main à ses clients, et détient des droits de propriété intellectuelle indépendants et une technologie de base complète. En tête du niveau technique national, le niveau technique de la robotique de salle blanche de SIASUN a atteint le niveau international avancé.
Actuellement, les utilisateurs de produits pour salles blanches sont répartis dans plus de 10 provinces et à Taïwan. Les applications industrielles sont les suivantes : ETCH, MOCVD, MEMS, CMP, etc., et répondent aux exigences des processus de semi-conducteurs tels que PVD, CVD, TRACK, PHOTO, IMP. Entre-temps, les performances des robots continuent de s'améliorer, de même que les processus robotiques à haute température et résistants à la corrosion. Une plus grande flexibilité et des performances plus élevées avec une conception personnalisée pourraient répondre aux besoins maximaux des clients.
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