La série MFC2000 est conçue pour des applications générales de contrôle de débit massique avec des gaz propres et secs. Elle utilise la puce de détection Thermal-D de la société et peut être utilisée pour les gaz non corrosifs dont la diffusivité est connue.
Les régulateurs de débit massique de la série MFC2000 sont fabriqués avec la calorimétrie MEMS (systèmes micro-électro-mécaniques) propriétaire de Siargo avec des technologies de détection de la diffusivité (Thermal-D ®) qui mesure la calorimétrie et la diffusivité du fluide en circulation. Cette technologie, comparée à la détection calorimétrique conventionnelle, offre une bien meilleure linéarité dans toute la plage dynamique, supprime les sensibilités aux gaz qui ont des diffusivités thermiques similaires et augmente la précision de la mesure et du contrôle lorsqu'elle est utilisée avec un facteur de conversion des gaz. Elle fournit également simultanément des données sur la température instantanée du fluide et améliore les performances en matière de température de l'approche de détection thermique.
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