Les capteurs de débit massique de la série FS1100 sont fabriqués à l'aide de la calorimétrie MEMS (microsystèmes électromécaniques) brevetée de Siargo avec des technologies de détection de la diffusivité (Thermal-D ®) qui
mesure la calorimétrie et la diffusivité du fluide. Cette technologie, comparée à la détection calorimétrique conventionnelle, offre une bien meilleure linéarité dans toute la plage dynamique, supprime les sensibilités aux gaz qui ont des diffusivités thermiques similaires et augmente la précision de la mesure lorsqu'elle est utilisée avec un facteur de conversion des gaz. Elle fournit également simultanément des données sur la température instantanée du fluide et améliore les performances en matière de température de l'approche de détection thermique.
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