Capteur de débit massique FS8000 series

volumiquede gazpour la surveillance de process

Les capteurs fournissent la réponse la plus rapide à 1 msec, et ils sont idéaux pour l'automatisation, le contrôle des robots et d'autres applications d'instrumentation. Cette série de capteurs de débit massique est conçue avec un temps de réponse rapide pour mesurer le débit massique de gaz en utilisant la technologie électronique de détection et de contrôle MEMS exclusive de la société. Les équipements semi-conducteurs et l'automatisation sont deux applications ciblées. conçus pour l'automatisation du contrôle temps de réponse rapide à 1 msec capacité de commutation rapide du débit interface analogique et numérique grand rapport de réduction supérieur à 100:1 empreinte compacte Applications *Automatisation des équipements *Actions robotiques *Détection de fuites *Instrumentation *Moniteur de processus avec gaz secs *Commutation de débit Plage de débit - 0- 100... 500 0 - 2000... 6000 - seem Précision - ±(2.0+0.5FS) - % Rapport de réduction - > 100:1 Consommation électrique - £ 50.0 - mW Temps de réponse - 5 msec typique ; jusqu'à 1 msec personnalisable Pression nominale maximale - 0,5 - MPa Perte de pression maximale - 900 (typique) - Pa Température - -10-55 - °C Alimentation - 8 - 24 - Vdc Décalage du zéro - ± 30,0 - mV Coefficient de température ±0,12 %/°C Sortie - Linéaire, l2C ; Analogique 0,5 - 4,5 Vdc Connexion mécanique - M5 / Rc 1/8 entrée & M5 sortie Poids - 12 / 21 g