Mesureur d'épaisseur stationnaire SKM-iFTM series

de filmà réflectance spectrale

Le moniteur d'épaisseur de film par imagerie est un outil de métrologie qui permet de visualiser la distribution de l'épaisseur d'un film multicouche transparent. Il peut visualiser la distribution de l'épaisseur du film avec une résolution de 0,1 nm en utilisant la réflectométrie spectroscopique. Visualiser l'uniformité de l'épaisseur du film Mesurer l'épaisseur/la qualité du film dans le champ de vision du microscope, montrer la distribution en 3D Résolution de l'épaisseur du film : <0,1nm Bonne résolution de l'épaisseur équivalente à celle des outils de spectrométrie. La longueur d'onde peut être sélectionnée de 450nm à 750nm avec une précision de 1nm. Haute vitesse / Mesure multicouche jusqu'à 9 couches Traitement parallèle par la réflectométrie spectroscopique Applications avancées ① Film répété plusieurs centaines de fois comme les filtres d'interférence à bande passante et film multicouche composite comme la structure en tranchée ② Estimation de la densité des motifs submicroniques à l'aide de l'approximation du milieu effectif (EMA) ③ Évaluation de la cristallinité d'une zone locale telle que le recuit au laser