Mesureur d'épaisseur stationnaire SK-FTM series

de filmà réflectance spectralede précision

Le moniteur compact d'épaisseur de film est un mesureur d'épaisseur de film spectrophotométrique par réflexion qui utilise une petite sonde de réflexion et qui est applicable dans toutes les situations, du niveau du laboratoire à l'inspection en ligne à 100 % dans le processus de production. Il présente une excellente facilité de maintenance et peut être intégré à l'équipement du processus et à la gestion de la ligne. Il est possible de mesurer simultanément jusqu'à 9 types de films transparents. Il peut être utilisé comme moniteur en ligne ou en bout de ligne pour les différents processus de films multicouches. La sonde compacte peut être installée dans un espace réduit à l'intérieur de l'outil de traitement. Il est également possible d'évaluer le rapport de mélange de la couche mixte ou la cristallinité du poly-silicium en utilisant la théorie EMA.