Machine de dépôt par pulvérisation cathodique en ligne

Mots-clés : Fil métallique, bandes métalliques, fibres de basalte torsadées, fibres de verre torsadées, fibres de carbone torsadées, diverses fibres chimiques torsadées, fibres optiques, ligne de revêtement de traitement de surface, ligne de revêtements fonctionnels, ligne de revêtement fonctionnel optique, équipement de dépôt sous vide de fils et de bandes continus, ligne de dépôt de couches minces nanométriques Films de revêtement - aucune limitation Films de dépôt : 1.1 Métaux conducteurs : Al, Cr, Cu, Ti, Zr, Ag, Au, Ni etc. 1.2 Films à base de métaux non conducteurs : Tantale (Ta ), TaN, Ta2O5, Silicium (SiOx) , Indium (In), Niobium (Nb) TiNbN etc. La ligne de revêtement continu air-air est un processus de revêtement continu complet qui comprend le prétraitement de nettoyage dans l'environnement atmosphérique, puis les substrats (bandes ou fils) entrent dans la chambre à vide pour obtenir des films métalliques déposés, puis le retournent à nouveau dans l'environnement atmosphérique via des chambres tampon. Les principaux modules structurels de la ligne de revêtement continu air-air : A : Module de prétraitement de nettoyage des substrats (bandes ou fils) B : Module de refroidissement C : Module de recuit D : Chambre de dépôt de film E : Dispositifs en boucle et chambre tampon sous vide.