Machine de dépôt par pulvérisation cathodique horizontale en ligne RTSP1480

en ligneà magnétron

La ligne de revêtement en continu Air-to-Air est un processus de revêtement en continu complet qui comprend le prétraitement de nettoyage dans l'environnement atmosphérique, puis les substrats (bandes ou fils) entrent dans la chambre à vide pour obtenir des films métalliques déposés, puis retournent à l'environnement atmosphérique à travers des chambres tampons. Les principaux modules structurels de la ligne de revêtement : A : Module de prétraitement de nettoyage des substrats (bandes ou fils) B : Module de refroidissement C : Module de recuit D : Chambre de dépôt de film E : Dispositifs en boucle et chambre tampon sous vide. 1. Films de revêtement : 1.1 Métaux conducteurs : Al, Cr, Cu, Ti, Zr, Ag, Au, Ni etc. 1.2 Films à base de métal non conducteur : Tantale (Ta ), TaN, Ta2O5, Silicium (SiOx) , Indium (In), Niobium (Nb) TiNbN etc. Application 1. Filaments conducteurs métalliques 2. Bandes de bobines métalliques, épaisseur inférieure à 1 mm 3. Câbles à fibres optiques 4. Fils de fibres chimiques 5. Ligne de fibres chimiques 6. Fils de verre et fils de carbone avec revêtement en cuivre 7. Fils de carbone et fils de verre avec revêtement en aluminium 9. Fil de cuivre plaqué argent PVD, 10. Câble à fibre optique plaqué argent 11. Machine à fil plaqué or 12. Bande de cuivre plaqué argent 13. Placage d'argent sur câbles en cuivre, bronze et laiton 14. Nouvelle ligne de revêtement multicouche pour fils de cuivre et bandes 15. Machine de placage à l'argent pour câbles à fibre optique