Machine de dépôt PVD RTSP1000-Tantalum

par pulvérisation cathodique à magnétronde couches mincessous vide

Le tantale est le plus utilisé dans l'industrie électronique comme revêtement protecteur en raison de sa bonne résistance à l'érosion. Applications 1. L'industrie microélectronique car les films peuvent être pulvérisés de manière réactive et ainsi la résistivité et le coefficient de température de la résistance peuvent être contrôlés; Les instruments médicaux comme les implants corporels pour sa propriété de haute bio-compatibilité; Revêtements sur les pièces résistantes à la corrosion, comme les puits thermométriques, les corps de vanne et les fixations; Le tantale pulvérisé peut également être utilisé comme barrière de résistance à la corrosion efficace si le revêtement est continu, défectueux et adhère au substrat destiné à protéger. Avantages -Un chariot standardisé est appliqué, ce qui permet un chargement / déchargement facile et sûr des supports de substrat et des pièces de travail dans / hors de la chambre de dépôt. -Le système est verrouillé de sécurité pour empêcher un fonctionnement incorrect ou des pratiques dangereuses. -Les radiateurs de substrat sont fournis qui sont montés au centre de la chambre, un thermocouple contrôlé par PID pour une grande précision, pour améliorer l'adhérence du film de condensation. -Fortes configurations de pompes à vide avec pompe moléculaire à suspension magnétique via une vanne à vanne reliée à la chambre; soutenu par la pompe de racines de Leybold et la pompe à palettes rotatives à deux étages, pompe mécanique. -Une source de plasma ionisé à haute énergie est appliquée avec ce système pour garantir l'uniformité et la densité.