1. Le magnétron pulvérisant est un processus de revêtement de plasma où en pulvérisant le matériel est dû éjecté au bombardement des ions sur la surface de cible. Le puits à dépression de la machine de revêtement de PVD est rempli de gaz inerte, tel que l'argon.
2. Le type en lots d'équipement de revêtement de pulvérisation de magnétron contient les composantes clés de suivre :
Cathode de pulvérisation de magnétron : Cylindre ou type planaire ;
Alimentation d'énergie : C.C d'impulsion, MF, rf
Source d'ions : généralement pour pièces de plastique/en verre/en céramique/en métal pour la lueur déchargeant, nettoyage de plasma.
Alimentation d'énergie polarisée : travaille seulement aux morceaux conducteurs de travail : acier, fer, alliage en acier, zamak, alliage d'aluminium, laiton etc.
Paquet de pompe à vide : La pompe de palette rotatoire, pompe de piston rotatoire, enracine la pompe, la pompe de diffusion/pompe moléculaire de turbo, tenant la pompe etc.
D'autres : Déclenchez les vallées/mesures de vide, cpc, garnitures de vide et ligne sifflante de vide, alimentation,
3. L'équipement de revêtement de série de RTSP est utilisé pour la production des revêtements fonctionnels conducteurs et non-conducteurs, but esthétique.