Vanne électrique à ultra-vide de la série CCD
Fourchette applicable (Pa) - 105~1.3×10-7
Taux de fuite de gaz (Pa.L/S) - ≤1.3×10-7
≤1.3×10-7
La torréfaction de la valve temperature(℃) - ≤150(sauf le dispositif de commande)
Différence de pression lors de l'ouverture des plaques de la vanne (Pa) - ≤3×103
Pression d'alimentation électrique - AC220V/50Hz
En ou hors temps S - ≤50
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