Alimentation électrique AC/AC ECB

à sortie simple

La série ECB est constituée d'amplificateurs haute tension pour les ventouses électrostatiques (E-Chuck, ESC). Outre la commutation de polarité et la mise à la terre forcée, la famille offre également un système de surveillance des plaquettes pour répondre aux besoins d'inspection des plaquettes. De plus, avec une large plage de tension, la série prend en charge les ventouses électrostatiques de Coulomb et de Johnsen-Rahbek. Application： Manutention à entraînement électrostatique Traitement des plaquettes de semi-conducteurs Transfert non mécanique de plaques ou d'autres matériaux traités sensibles à la manipulation mécanique