Les alimentations haute tension Wisman de la série EMC sont des alimentations haute tension multi-sorties complètes pour les faisceaux d'ions focalisés. Les applications typiques comprennent la microscopie électronique à transmission et à balayage, l'analyse des semi-conducteurs, le fraisage et la réparation des têtes de lecteur de disques optiques, la gravure par faisceau d'ions et la lithographie par faisceau d'ions focalisés. L'approche modulaire permet de configurer facilement les composants individuels dans un ensemble commun monté en rack sur un grand châssis. Les circuits d'interface, de logique et de contrôle sont fabriqués à l'aide d'une technologie de montage en surface afin de minimiser les coûts et la taille. Alimentation accélératrice intégrée, alimentation du filament, alimentation de l'absorbeur, alimentation du suppresseur et alimentation de la lentille. Faible ondulation de sortie, excellent rapport d'accord, stabilité, dérive de température et précision. Les modules de haute précision de la série EMC sont proposés à un prix compétitif et sont idéaux pour les applications OEM.
APPLICATIONS:
Microscope électronique à balayage à émission de champ
Alimentation du faisceau d'électrons
Analyse, traitement et réparation des semi-conducteurs
Gravure par faisceau d'ions
Lithographie par faisceau d'ions focalisés
Paramètres techniques:
Alimentation accélérée
Courant de sortie :
100μA, 300μA
Ondulation :
100μA:75 mV P-P,de 0,1 HZ à1MHZ
300μA:120 mV P-P,de 0,1 Hzà1MHZ
Rapport d'ajustement d'entrée:
Variation d'entrée +/-10% pour 100mV
Taux d'ajustement de la charge :
± 0,01%, tension maximale, variation à pleine charge
Stabilité:
1.5V/10 heures après 2 heures de préchauffage
Coefficient de température :
25 PPM / °C
Alimentation du filament :
Ondulation :
Rapport de réglage de la charge :
± 0,1 %, tension maximale, variation à pleine charge
Rapport d'ajustement de ligne :
variation de +/-10% à 5mA
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