Alimentation électrique DC/DC ECD

ISO

La série ECD de Wisman d'alimentations électriques pour mandrins électrostatiques pilotées par logiciel offre une gamme de caractéristiques permettant de répondre à une grande variété d'applications exigeantes. L'instrument intègre la technologie d'amplification de Wisman, dont il a été démontré qu'elle augmentait l'efficacité et le débit jusqu'à trois fois plus que les autres alimentations. Réduisez les erreurs de gaz sur la face arrière, augmentez le rendement et éliminez les problèmes de collage et d'écrasement des plaquettes ; contrôlez les paramètres tels que les seuils de surintensité, de présence et de serrage des plaquettes, la tension de serrage, la tension de décalage et le contrôle interne ou externe de l'amplitude/du décalage ; polyvalence dans le contrôle de l'amplitude/du décalage et de la sortie pendant le réglage ; contrôlez la sortie à l'aide des E/S du panneau arrière, des commandes informatiques en série ou des commandes du panneau avant ; configurez des séquences et des formes d'onde de serrage et de déclampage personnalisées. Les performances polyvalentes et fiables de l'ECD de Wisman permettent de l'utiliser dans une large gamme d'outils et de processus uniques sans ajouter de nouveaux coûts pour chaque outil ou processus unique dans l'installation. Caractéristiques : Interface de commande verrouillable sur le panneau avant. Chaque unité est fournie avec un certificat d'étalonnage traçable. Prend en charge les technologies ESC Coulombic et Johnsen-Rahbek. Les profils des mandrins électrostatiques sont téléchargés et stockés sur l'appareil et stockés en interne grâce à une interface logicielle conviviale. Détection des wafers, y compris l'absence de wafers, la présence de wafers ou l'état de serrage des wafers. Domaines d'application : Manipulation de matériaux par voie électrostatique. Traitement des plaquettes de semi-conducteurs. Transfert non mécanique de feuilles plates ou d'autres matériaux traités sensibles à la manipulation mécanique.