Alimentation électrique DC/DC EC

ISO

La série EC d'alimentations à succion électrostatique de Wisman, pilotée par logiciel, offre une gamme de caractéristiques permettant de répondre à un large éventail d'applications exigeantes. L'instrument utilise la technologie d'amplification de Wisman, dont il a été démontré qu'elle augmentait l'efficacité et le débit jusqu'à trois fois plus que les autres sources d'alimentation. Réduit les erreurs de gaz sur la face arrière, améliore le rendement et élimine les problèmes de collage/éclatement des plaquettes ; contrôle des paramètres tels que la surintensité, la présence de plaquettes et les seuils de serrage des plaquettes, la tension de serrage, la tension de décalage et les contrôles d'amplitude/décalage internes ou externes ; polyvalence du contrôle de l'amplitude/décalage et de la sortie pendant le réglage ; contrôle de la sortie à l'aide des E/S du panneau arrière, des commandes informatiques en série ou des contrôles du panneau avant ; configure des séquences et des formes d'onde de serrage et de retrait de serrage personnalisées. Les performances polyvalentes et fiables de l'EC de Wisman permettent de l'utiliser dans de multiples outils et processus uniques sans ajouter de nouveaux coûts à chaque outil ou processus unique dans l'installation. Caractéristiques du produit : Interface de commande verrouillable sur le panneau avant ; Chaque unité est fournie avec un certificat d'étalonnage traçable ; Prend en charge les technologies ESC Coulombic et Johnsen-Rahbek ; Cette section décrit comment télécharger le fichier de configuration d'un mandrin électrostatique vers l'appareil et le stocker dans l'appareil à l'aide d'une interface logicielle conviviale ; La détection de la tranche de silicium comprend l'état libre, la présence ou le serrage de la tranche de silicium ; Application : Manipulation électrostatique des matériaux Traitement des plaquettes de semi-conducteurs Transfert non mécanique de plaques plates ou d'autres matériaux traités sensibles à la manipulation mécanique