Amplificateur de tension ECA

de commutationhaute tensionbipolaire

La série ECA est constituée d'amplificateurs haute tension pour les mandrins électrostatiques (E-Chuck, ESC). Outre la commutation de polarité et la mise à la terre forcée, cette série offre également un système de surveillance des wafers pour les besoins d'inspection des wafers. De plus, avec une large plage de tension, la série prend en charge les mandrins électrostatiques de Coulomb et de Johnsen-Rahbek. Application typique : Manipulation de matériaux par voie électrostatique Traitement des plaquettes de semi-conducteurs Transfert non mécanique de feuilles plates ou d'autres matériaux traités sensibles à la manipulation mécanique Caractéristiques et avantages : Détection fiable de l'état de serrage/relâchement par le capteur de wafer Réponse rapide de l'architecture de l'amplificateur (pas d'inversion de polarité du relais pour une grande fiabilité et une longue durée de vie) "Commande indépendante à deux canaux (option) et réglage de la tension de la prise centrale (option) pour diverses opérations de serrage/desserrage Équipé d'une interface numérique LAN, USB, RS-232C Filtre RF passe-bas intégré (13,56 MHz) CT en option Biais de prise centrale 0 à ±[tension maximale du taux - point de consigne de la tension] Option ET Interface Ethernet CAT [à venir] DS en option Contrôle indépendant à deux canaux En option AC Option L7 Câble de sortie haute tension 7m x 3 (2 lorsque CT ou DS est sélectionné)