Alimentation électrique DC/DC HEM

ISOmodulairehaute tension

La série HEM d'alimentations haute tension de Wisman est une alimentation haute tension multi-sorties complète dédiée à la focalisation des faisceaux d'ions. Les applications typiques sont la microscopie électronique à transmission et à balayage, l'analyse des semi-conducteurs, le fraisage et la réparation des têtes d'entraînement optiques, les ions, la gravure par faisceau et la lithographie par faisceau d'ions focalisés. La méthode de conception modulaire permet de configurer et d'assembler facilement des composants individuels sur un grand châssis dans un rack commun. Les circuits d'interface, de logique et de contrôle sont montés en surface pour minimiser les coûts et la taille. Intègre l'alimentation de l'accélération, l'alimentation du filament, l'absorption de la puissance polaire, l'inhibition de la puissance polaire et l'alimentation de l'objectif. Ondulation de sortie ultra-faible, taux d'ajustement, stabilité, dérive de température et précision excellents. Technologie brevetée de suspension à haute tension et de contrôle numérique. Les modules de haute précision de la série HEM sont proposés à des prix compétitifs et sont idéaux pour les applications OEM. APPLICATION TYPIQUE Microscope électronique à balayage par transmission Microscope électronique à balayage Analyse des semi-conducteurs Traitement et réparation Gravure par faisceau d'ions Lithographie par faisceau d'ions focalisés Ondulation 2ppm SPÉCIFICATION Puissance de l'accélérateur Ondulation : 70 mV P-P, de 0,1 Hz à 1MHZ Régulation de ligne : variation d'entrée + / -10% pour 100mV Régulation de la charge : ± 0,01%, tension maximale, variation de la charge totale Stabilité : après 2 heures d'échauffement, 1,5V/10 heures Coefficient de température : 25 PPM / °C Puissance de l'extracteur Ondulation : 30 mV P-P, de 0,1 Hz à 1 MHZ, inférieur à 30μA Régulation de ligne : entrée + / -10% changement est 100mV Régulation de la charge : ± 0,01 %, tension maximale, variation de la charge totale Stabilité : Après préchauffage pendant 2 heures, 500mV/10 heures Coefficient de température : 25 PPM / °C