Le DF-760E ULTRA est un double analyseur d'humidité et d'oxygène pour les gaz UHP
L'analyseur compact DF-760E NanoTrace ULTRA est une solution supérieure pour la double mesure de l'humidité (H2O) et de l'oxygène (O2) à l'état de traces et d'ultra-traces. Il permet d'effectuer des mesures de contrôle qualité de premier ordre pour les gaz en vrac UHP.
Mesures de traces/ultra-traces TDL à haute stabilité
Une solution sans compromis
Maintenance simple et coûts d'exploitation réduits
Le DF-760E ULTRA est une solution compacte intégrée pour la surveillance simultanée de l'humidité et de l'oxygène à l'état de traces. Il s'agit d'un analyseur conçu pour la surveillance des gaz en vrac UHP utilisés dans la fabrication des cartes de circuits intégrés.
Combinant les propriétés de pointe du capteur coulométrique inépuisable de Servomex et la technologie robuste du laser à diode accordable (TDL) dans une seule unité compacte, le DF-760E ULTRA mesure des niveaux de contaminants ultra-faibles de H2O et d'O2 dans des mélanges de gaz de fond composés d'azote (N2), d'hydrogène (H2), d'hélium (He), d'O2 et d'argon (Ar) (H2O dans l'O2 uniquement).
Offrant des limites de détection inférieures (LDL) exceptionnellement basses de 55ppt (H2O) et 45ppt (O2), le DF-760E ULTRA offre une vitesse de réponse rapide, une stabilité inégalée et une immunité contre les dommages causés par les traces d'acide, ce qui le rend idéal pour le contrôle de la qualité et la détection des fuites dans les applications FAB (fabrication de semi-conducteurs).
Ces performances de mesure inégalées sont soutenues par une conception à faible maintenance, grâce aux technologies de détection à dérive nulle qui ne nécessitent pas d'étalonnage permanent.
Lorsque vous travaillez dans la fabrication de cartes de circuits intégrés, le contrôle de la qualité du gaz UHP de qualité électronique est crucial.
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