Conçu pour les applications de contrôle qualité dans les gaz en vrac UHP, l'analyseur compact DF-760E est une solution unique pour la double mesure de l'humidité (H2O) et de l'oxygène (O2) à l'état de traces et d'ultra-traces.
Mesures de traces/ultra-traces TDL à haute stabilité
Une solution sans compromis
Maintenance simple et coûts d'exploitation réduits
Le DF-760E est une solution compacte intégrée pour la surveillance simultanée de l'humidité et de l'oxygène à l'état de traces. Il s'agit d'un analyseur conçu pour la surveillance des gaz en vrac UHP utilisés dans la fabrication des cartes de circuits intégrés.
Combinant les propriétés de pointe du capteur coulométrique inépuisable de Servomex et la technologie robuste du laser à diode accordable (TDL) au sein d'une seule unité compacte, le DF-760E mesure des niveaux ultra-faibles de contaminants H2O et O2 dans des mélanges de gaz de fond composés d'azote (N2), d'hydrogène (H2), d'hélium (He), d'O2 et d'argon (Ar) (H2O dans l'O2 uniquement).
Offrant des limites de détection inférieures (LDL) exceptionnellement basses de 100ppt (H2O) et 45ppt (O2), le DF-760E offre une vitesse de réponse rapide, une stabilité inégalée et une immunité contre les dommages causés par les traces d'acide, ce qui le rend idéal pour le contrôle de la qualité et la détection des fuites dans les applications FAB (fabrication de semi-conducteurs).
Ces performances de mesure inégalées sont soutenues par une conception à faible maintenance, grâce aux technologies de détection sans dérive qui ne nécessitent pas d'étalonnage permanent.
Lorsque vous travaillez dans la fabrication de cartes de circuits intégrés, le contrôle de la qualité du gaz UHP de qualité électronique est crucial.
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