Le DF-750 est le premier choix en matière d'analyse d'humidité pour l'industrie des semi-conducteurs
Le DF-750 est un analyseur d'humidité trace/ultra-trace optimisé pour les mesures dans les gaz ultra-haute pureté (UHP) utilisés dans les usines de semi-conducteurs de 300 mm.
Mesures de trace/ultra-trace TDL à haute stabilité
Une solution sans compromis
Maintenance simple et coûts continus réduits
Conçu spécifiquement pour effectuer des mesures d'humidité à l'état de trace et d'ultra-trace dans une gamme de gaz UHP, le DF-750 est optimisé pour les fabs de semi-conducteurs de 300 mm. Il mesure l'humidité en tant que contaminant dans les gaz de qualité électronique : azote, hydrogène, hélium, argon et oxygène.
La technologie de détection TDL (Tunable Diode Laser) offre une limite de détection inférieure (LDL) de 100 parties par billion (ppt), ce qui garantit que les mesures stables et très précises du DF-750 répondent aux besoins de contrôle précis de la production de semi-conducteurs.
Le DF-750, robuste, nécessite peu d'entretien pendant toute sa durée de vie et offre une stabilité sans dérive, ce qui prolonge considérablement les intervalles d'étalonnage. Ce faible coût d'acquisition, associé à des performances de mesure exceptionnelles, fait du DF-750 la solution analytique de premier choix pour les contrôles de qualité des gaz UHP.
Mesures de traces/ultra-traces TDL à haute stabilité
Le DF-750 est conçu pour répondre aux normes exceptionnelles de pureté des gaz exigées par les fabricants de semi-conducteurs du monde entier. Utilisant une technologie de détection TDL de pointe, logée dans une cellule Herriot robuste et résistante, le DF-750 évite le contact de l'humidité avec les composants de détection optique. Le résultat est un analyseur qui fournit une mesure ultra-sensible de l'humidité
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