Régulateur de débit massique SFC3000

pour gaznumériquepour OEM

Le régulateur de débit massique SFC3000 offre un contrôle rapide et précis des débits de gaz sur une large plage. Sa haute précision et son temps de stabilisation rapide sont principalement basés sur la technologie innovante CMOSens®. Ainsi, le signal du capteur étalonné numériquement et compensé en température est converti directement en un signal qui est utilisé dans le circuit de commande numérique pour contrôler la vanne. Le SFC3000 est un petit régulateur de débit massique entièrement numérique destiné aux applications OEM à grand volume. Son excellente stabilité et sa répétabilité le rendent idéal pour les instruments analytiques. Différents types de gaz et gammes de contrôle peuvent être étalonnés et commutés par logiciel. Caractéristiques Débit massique Précision - ±0,2sccm ± 2% SP - - Ports de connexion fluidique - Montage en bas - - Générique Tension d'alimentation - 14.25 - 15.25 - V - Courant d'alimentation max. - 330000 - uA - Interfaces - RS485 - - Dimensions (LxLxH) - 70 x 25 x 73 - mm³