Capteur de débit numérique de haute précision, configurable et rapide pour OEM
Spécification
Débit massique
Débit pleine échelle - 1, 2 et 5 - slm -
Débit pleine échelle - 50, 100, 200 et 500 - sccm -
Précision - 0,2%FS ou 2% SP - -
Pression maximale de fonctionnement - 10 - bar -
Etalonnage - Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 et C4F8 - débit -
Ports de connexion fluidique - Montage en bas - -
Générique
Tension d'alimentation - 14 - 26,4 - V -
Courant d'alimentation moyen - 50000 - uA -
Courant d'alimentation max. - 320000 - uA -
Interfaces - RS485 - -
Dimensions (LxLxH) - 34 x 25 x 62,2 - mm³
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