Le débitmètre massique SFM5400 mesure les débits massiques avec une précision exceptionnelle (erreurs < 1 %), une stabilité et une répétabilité à long terme et couvre une plage de mesure dynamique impressionnante. Le SFM5400 est fabriqué en métal et hautement configurable. Il est disponible avec une variété de connexions fluidiques et diverses interfaces et mesure des débits maximaux compris entre 50 sccm et 100 slm. Le signal du capteur est directement converti en un signal numérique, entièrement calibré et compensé en température sur la puce. Plusieurs étalonnages de gaz peuvent être stockés sur un seul appareil. En outre, le débitmètre peut vérifier si l'étalonnage du gaz activé correspond au gaz réel présent. La polyvalence du SFM5400 en fait la solution idéale pour les applications industrielles et médicales.
Les performances exceptionnelles du débitmètre massique SFM5400 reposent sur la technologie CMOSens® innovante, qui intègre l'élément capteur de haute précision et l'électronique de traitement analogique et numérique sur une seule puce de silicium CMOS. Combiné à des matériaux de haute qualité, le résultat est un débitmètre massique durablement stable, extrêmement rapide et très précis.
Le débitmètre massique SFM5400 est la version sans vanne du régulateur de débit massique SFC5400. Le régulateur de débit massique SFC5400 présente les mêmes caractéristiques de performance que le débitmètre massique et est utilisé dans des applications similaires, de sorte que les deux produits peuvent être idéalement combinés. Vous trouverez de plus amples informations et des spécifications détaillées sur le régulateur de débit massique sur le site web du SFC5400.
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