Spectromètre de photoélectrons NanoSAM Lab

de processMCPAuger

Colonne d'électrons Gemini UHV : résolution spatiale maximale taille du spot de faisceau électronique le plus petit une performance énergétique unique à faible consommation d'énergie sEM efficace avec SED dans l'objectif Analyseur d'électrons NanoSAM résolution énergétique variable excellente sensibilité, détection multicanal Manipulation des échantillons : taille flexible de l'échantillon température variable de l'échantillon (50-500K) inclinaison de l'échantillon 60 Le laboratoire NanoSAM est l'outil ultime pour l'analyse des petites structures. Grâce aux performances uniques de la colonne d'électrons UHV Gemini, elle garantit une résolution inégalée en dessous de 5 nm en Microscopie à Vis à Balayage (SAM) et meilleure que 3 nm en SEM. Contrairement aux autres outils Auger, la très bonne résolution n'est pas seulement disponible avec une énergie de faisceau standard de 20 keV, mais même à 5 keV, la résolution SAM reste inférieure à 10 nm. Cela permet de travailler dans une plage de paramètres où les sections transversales de la tarière sont élevées et bien documentées pour l'analyse quantitative.